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製品情報

Delphon Gel-Pak


【製品概要】

Gel-PROBE REFINEは研磨材有りのゲルエラストマータイプクリーニングシートです。
Gel-PROBE REMOVEは研磨材無しのゲルエラストマータイプクリーニングシートです。

Gel-PROBE REFINE/REMOVEはDelphon Gel-Pak社独自のエラストマー材料で構成されたプローブカード用のクリーニングウェハ/シート製品となります。Gel-PROBEのコンプライアントなエラストマーはプローブにダメージを与えることなくプロービング時に発生した異物、塵、固着した蓄積物をピン先端および周辺から取り除きます。

ウェハタイプ

シートタイプ

【特長】

使用温度:-60℃~200℃
不導体・非腐食
プローブやPadに異物の転写がない
インストール高さを含めた分析証明書を提出可

【ウェハタイプ】

ウェハタイプはφ200mmとφ300mmの2種類のサイズを取り揃えております。

【シートタイプ】

シートタイプはプローバ研磨ステージのサイズに対応した様々なサイズを取り揃えております。